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李冰 / LI Bing
北京科华微电子材料有限公司总经理
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2007年毕业于清华大学材料科学与工程专业,同年加入北京科华,从事光刻胶及配套试剂的研究与开发。作为主要负责人参与公司承担的国家02重大专项《248nm光刻胶研发与产业化》,所研发的248nm光刻胶DK系列成为商业化产品,批量用于8”及12”芯片制造工艺;除248nm光刻胶之外,他作为研发团队负责人领导开发了0.3um I线光刻胶、厚膜光刻胶及Lift Off用负性光刻胶等产品。此外,作为技术负责人承担了北京市科委《先进光刻用高分子自组装材料技术研究》,开发出具有10nm的相分离尺寸的嵌段共聚物并进行了自组装工艺研究;作为参与单位的负责人参与了02专项《极紫外光刻胶材料与实验室检测技术研究》的部分工作。
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